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研究人员开发了可大规模生产,厘米级的VR,成像金属元

发布时间:2019/12/06 要闻 浏览次数:778

 
硅晶片上的四十五个一厘米深的金属透镜将光聚焦在一张纸上。图片来源:Joon-Suh Park /哈佛大学SEAS Metalenses –使用纳米结构聚焦光的平坦表面–有望彻底改变从显微镜到照相机,传感器和显示器的一切。但是到目前为止,大多数镜头都只有一块闪光的大小。尽管此尺寸的镜头在某些应用中效果很好,但在弱光条件下(例如,在轨道卫星上的成像系统以及VR应用中,镜头需要大于瞳孔),则需要使用更大的镜头。
现在,哈佛大学约翰·保尔森工程与应用科学学院(SEAS)的研究人员开发了一种全玻璃,厘米级可见光谱的金属盐,该金属盐可以使用常规芯片制造方法制造。
这项研究发表在《纳米快报》上。
罗伯特·费德里科·卡帕索(Federico Capasso)说:“这项研究为所谓的手机晶圆级相机铺平了道路,其中,CMOS芯片和金属传感器可以直接堆叠在一起,并且易于光学对准,因为它们都是平坦的。” L. Wallace应用物理学教授和Vinton Hayes SEAS电气工程高级研究员,也是该论文的高级作者。 “将来,同一家公司可以同时生产芯片和透镜,因为两者可以使用相同的技术制造:光刻。”
“以前,我们无法在可见光波长下大规模生产厘米级的金属传感器,因为我们要么使用费时的电子束光刻技术,要么采用不具备i-line步进光刻技术的电子线步进光刻技术。足够的分辨率来图案化所需的亚波长尺寸的结构,” Joon-Suh Park博士说。 SEAS的候选人,该论文的第一作者。
金属元纳米柱的放大SEM图像。图片来源:Joon-Suh Park /哈佛大学SEAS为了批量生产厘米级的金属,研究人员使用了一种称为深紫外(DUV)投影光刻的技术,该技术通常用于在从电脑到手机。该技术可以在每个芯片上产生许多金属感,每个金属感像都由数百万个纳米级元素组成,并且只需进行一次曝光即可拍摄照片。
研究人员通过将纳米结构图案直接蚀刻到玻璃表面上,从而消除了以前的金属传感器所需的耗时的沉积过程。
它是可见光谱中第一种可大规模生产的全玻璃,厘米级的金属盐。
虽然这种透镜是彩色的,这意味着所有不同颜色的光都不会聚焦在同一点上,但研究人员正在研究大直径的消色差金属感镜。